北京中精仪科技有限公司
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美国AIST公司的SmartSPM原子力显微镜是一种通用的扫描探针显微镜，适用于在大气环境，液态以及可控气氛条件下对各种样品在纳米等级上宽范围的复杂表面进行研究。尤其是在高分辨率和高速率条件下对测试小型样品是一种理想的选择。SmartSPM可以很方便的与现代自动化结合在一起具有很多高质量的测试功能。
SmartSPM的重要特点：
很高的扫描速度；
最大扫面范围：100×100×15µm；
XY方向上5×5mm范围内机动的样品定位；
带集成电容闭环传感器的扫描器；
红外激光（1300nm）可以测量光敏感样品；
自动测量包含自动的激光和光电二极管定位以及测量参数的设定；
真正意义上的非接触式扫描模式和特别安全悬臂针尖-表面着陆程序
可扩展的数字化模块控制器。
2.扫描探针显微镜
AIST-NT SPM在一台设备上能够进行所有现代SPM的测试模式和技术。
接触式AFM
在接触模式中，悬臂是在一个固定的挠度上进行表面扫描。提供了最佳的比例积分（PID）反馈回路，在扫描的过程中提供一个恒定不变的力。如果PID反馈回路参数不是最佳的，在扫描过程中，探针施加在表面的力就会有变化。接触式AFM主要用来测试硬质样品的形貌。用于接触式的悬臂可能是由硅或者氮化硅构成。接触模式的悬臂的共振频率主要在50KHz左右，力常数在1N/m以下。
半接触式（轻敲式）AFM
这种技术是利用一个振动针尖通过轻敲物体表面来测试形貌。当振动探针敲击样品的时候，是在最小剪切力下短时间的相互作用，这就比接触式对样品具有更小的破坏性。当在大气中，探针有足够能量来克服样品的粘着力和毛细作用力时，轻敲探针保持稳定的振动式必要的。传统意义上，刚度为5-20N/m Si探针，例如fpN10，通常被用于轻敲模式的实验。根据样品的类型和具体的问题，探针的刚度范围要求在0.3N/m到400N/m内。低刚度的探针一般应用于软材料或者低粘着力的颗粒的表面。刚性探针通常被用于需要加大力来进行可视化成像的多组分样品的不同机械组件。
非接触式AFM
在非接触模式中，振动的探针可以检测到长距离的范德华力，探针的振动是由压电传感器激发其共振频率产生的，使探针离样品很近。探针的振幅在5nm以下。
相位成像
跟半接触式AFM或者非接触式的AFM一起使用，可以提供不同表面的粘性和粘弹性导致的图像的对比。
侧向力显微镜（LFM）
AFM的悬臂在扫描表面时可以弯曲或者旋转弯曲。悬臂的运动量某种程度上与便面的化学/物理性质不同有关。化学/物理性能可以是纳米粗糙度或者在化学成分上的不同。在LFM中，探针的扭转运动是可以利用四象限光电探测器监测到的，光电探测器分为左右两部分，用以测试探针针尖和样品表面之间的摩擦力。
力调制
用户可以利用这种模式来测试表面特征的相对弹性/刚性。
导电AFM
可以测试表面电导率的空间图。在导电样品和探针之间放置一个偏置，然后扫描样品的表面。通过监测探针和表面之间的电流量就可产生表面的电导率图。
磁力显微镜（MFM）
应用于测试样品表面磁场分布特征的AFM技术被称为磁场力显微镜。这个模式分为两个阶段，第一个阶段，在轻敲模式下测试表面形貌，第二阶段就形貌数据绘制出磁场力。带有磁力的Co-Cr悬臂被用于MFM的研究。该涂层形成于悬臂的两端，用以防止内应力和激光束增加带来的弯曲。悬臂的弹簧常数和共振频率应该被筛选，悬臂在半接触模式下具有很大的稳定性，也要具有在第二阶段过程中对于很弱的磁力具有很高的灵敏度。
开尔文探针（表面电位显微镜）
在开尔文探针模式下，通常是在振动模式下进行对表面的扫描，并且利用一个反馈回路来保持探针和表面之间电压相等。这是一种定量的两阶段技术，在第一阶段测试表面的形貌，在第二阶段测试表面的绝对电位。
电子力显微镜（EFM）
这种模式用于测试样品表面上的电场梯度的分布。一般的，用于这种测试的探针的刚性~5N/m，并具有导电涂层。在某些情况下，掺杂型Si片可以用于探针的制作，足以提供合理的与样品之间的静电力作用的力响应。
刻蚀
用户可以利用探针针尖在样品的表面进行机械划痕或者压痕。也可以利用AFM在纳米范围内以电化学的形式刻蚀金属表面。通过在探针针尖和样品基体之间施加电压，来诱导发生电化学反应。这种技术是建立在称为针尖诱导局部阳极氧化的电化学法的基础上的。
3.SmartSPM 1000 的技术规格
测试模式
接触式AFM，在大气中（液相，可选）；
半接触式AFM，在大气中（液相，可选）；
真正的非接触式AFM；
相位成像；
侧向力显微镜（LFM）
力调制；
磁力显微镜（MFM）；
开尔文探针（表面电位显微镜）；
电容和电场力显微镜（EFM）
压电响应力显微镜；
力曲线测试；
纳米刻蚀；
纳米操作；
导电AFM（可选）；
STM（可选）；
光电流映射；（可选）
伏安特性测量（可选）。
SmartSPM的重要特点：
很高的扫描速度；
最大扫面范围：100×100×15µm；
XY方向上5×5mm范围内机动的样品定位；
带集成电容闭环传感器的扫描器；
红外激光（1300nm）可以测量光敏感样品；
自动测量包含自动的激光和光电二极管定位以及测量参数的设定；
真正意义上的非接触式扫描模式和特别安全悬臂针尖-表面着陆程序
可扩展的数字化模块控制器。
2.扫描探针显微镜
AIST-NT SPM在一台设备上能够进行所有现代SPM的测试模式和技术。
接触式AFM
在接触模式中，悬臂是在一个固定的挠度上进行表面扫描。提供了最佳的比例积分（PID）反馈回路，在扫描的过程中提供一个恒定不变的力。如果PID反馈回路参数不是最佳的，在扫描过程中，探针施加在表面的力就会有变化。接触式AFM主要用来测试硬质样品的形貌。用于接触式的悬臂可能是由硅或者氮化硅构成。接触模式的悬臂的共振频率主要在50KHz左右，力常数在1N/m以下。
半接触式（轻敲式）AFM
这种技术是利用一个振动针尖通过轻敲物体表面来测试形貌。当振动探针敲击样品的时候，是在最小剪切力下短时间的相互作用，这就比接触式对样品具有更小的破坏性。当在大气中，探针有足够能量来克服样品的粘着力和毛细作用力时，轻敲探针保持稳定的振动式必要的。传统意义上，刚度为5-20N/m Si探针，例如fpN10，通常被用于轻敲模式的实验。根据样品的类型和具体的问题，探针的刚度范围要求在0.3N/m到400N/m内。低刚度的探针一般应用于软材料或者低粘着力的颗粒的表面。刚性探针通常被用于需要加大力来进行可视化成像的多组分样品的不同机械组件。
非接触式AFM
在非接触模式中，振动的探针可以检测到长距离的范德华力，探针的振动是由压电传感器激发其共振频率产生的，使探针离样品很近。探针的振幅在5nm以下。
相位成像
跟半接触式AFM或者非接触式的AFM一起使用，可以提供不同表面的粘性和粘弹性导致的图像的对比。
侧向力显微镜（LFM）
AFM的悬臂在扫描表面时可以弯曲或者旋转弯曲。悬臂的运动量某种程度上与便面的化学/物理性质不同有关。化学/物理性能可以是纳米粗糙度或者在化学成分上的不同。在LFM中，探针的扭转运动是可以利用四象限光电探测器监测到的，光电探测器分为左右两部分，用以测试探针针尖和样品表面之间的摩擦力。
力调制
用户可以利用这种模式来测试表面特征的相对弹性/刚性。
导电AFM
可以测试表面电导率的空间图。在导电样品和探针之间放置一个偏置，然后扫描样品的表面。通过监测探针和表面之间的电流量就可产生表面的电导率图。
磁力显微镜（MFM）
应用于测试样品表面磁场分布特征的AFM技术被称为磁场力显微镜。这个模式分为两个阶段，第一个阶段，在轻敲模式下测试表面形貌，第二阶段就形貌数据绘制出磁场力。带有磁力的Co-Cr悬臂被用于MFM的研究。该涂层形成于悬臂的两端，用以防止内应力和激光束增加带来的弯曲。悬臂的弹簧常数和共振频率应该被筛选，悬臂在半接触模式下具有很大的稳定性，也要具有在第二阶段过程中对于很弱的磁力具有很高的灵敏度。
开尔文探针（表面电位显微镜）
在开尔文探针模式下，通常是在振动模式下进行对表面的扫描，并且利用一个反馈回路来保持探针和表面之间电压相等。这是一种定量的两阶段技术，在第一阶段测试表面的形貌，在第二阶段测试表面的绝对电位。
电子力显微镜（EFM）
这种模式用于测试样品表面上的电场梯度的分布。一般的，用于这种测试的探针的刚性~5N/m，并具有导电涂层。在某些情况下，掺杂型Si片可以用于探针的制作，足以提供合理的与样品之间的静电力作用的力响应。
刻蚀
用户可以利用探针针尖在样品的表面进行机械划痕或者压痕。也可以利用AFM在纳米范围内以电化学的形式刻蚀金属表面。通过在探针针尖和样品基体之间施加电压，来诱导发生电化学反应。这种技术是建立在称为针尖诱导局部阳极氧化的电化学法的基础上的。
3.SmartSPM 1000 的技术规格
测试模式
接触式AFM，在大气中（液相，可选）；
半接触式AFM，在大气中（液相，可选）；
真正的非接触式AFM；
相位成像；
侧向力显微镜（LFM）
力调制；
磁力显微镜（MFM）；
开尔文探针（表面电位显微镜）；
电容和电场力显微镜（EFM）
压电响应力显微镜；
力曲线测试；
纳米刻蚀；
纳米操作；
导电AFM（可选）；
STM（可选）；
光电流映射；（可选）
伏安特性测量（可选）。