开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。
材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。

我们的开尔文探针系统包括：
□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□超高真空(UHV)开尔文探针；
□湿度控制的腐蚀开尔文探针；



扫描开尔文探针系统 (ASKP)
ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：
□2毫米，50微米探针；
□功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；
□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；
□表面势和样品形貌3维地图；
□探针扫描或样品扫描选配；
□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；
□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；
□备用的针尖放大器；
□24个月超长质保期；

仪器的特色
□全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；
□最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；
□非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；
□高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；
□该领域内，拥有最好的信噪比；
□快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；
□功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；
□所有开尔文探针参数的全数字控制；