4英寸单面抛光硅片 p型 n型
产品名称: 4英寸单面抛光硅片 p型 n型
英文名称:
产品编号: 12450
产品价格: 0
产品产地: 国产
品牌商标: 国产
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4英寸单面抛光硅片 | |
生长方式 |
直拉单晶(CZ) |
直径和公差(mm) |
100.2± 0.3mm |
型号/掺杂类型 |
N型 (掺磷、砷、锑) P型(掺硼) |
晶向 |
<100> <111> |
电阻率(Ω·cm) |
0.0015-60 (Ω·cm) 可按客户要求订制范围 |
厚度和公差(μm) |
按照客户要求订制 ±10 |
平整度 TIR (μm) |
<3μm |
翘曲度 TTV(μm) |
<15μm |
弯曲度 Bow(μm) |
<15μm |
粗糙度 Ra (nm) |
<0.5nm |
颗粒(# per wafer) |
< 10 (for size > 0.3μm) |
包装方式 |
25片装 无尘真空包装 1盒起售 |