6英寸晶单面抛光硅片p型/n型
产品名称: 6英寸晶单面抛光硅片p型/n型
英文名称:
产品编号: 124580
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产品产地: 国产
品牌商标: 国产
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6英寸单面抛光硅片
生长方式
直拉单晶(CZ)
直径和公差(mm)
150.2± 0.3mm
型号/掺杂类型
P型/n型
晶向
<100>
电阻率(Ω·cm)
<1 (Ω·cm)
厚度和公差(μm)
650±20
平整度 TIR (μm)
<3μm
翘曲度 TTV(μm)
<15μm
弯曲度 Bow(μm)
<15μm
粗糙度 Ra (nm)
<0.5nm
洁净度(# per wafer)
< 10 (for size > 0.3μm)
包装方式
25片装 无尘真空包装 1盒起售